全自動薄膜檢測系統(tǒng)(液晶用分光式橢圓偏光儀) FF-1000
可以滿足FPD制造工藝中最先進的檢測需求(TFT中的低溫多晶硅/非晶硅/有機EL) 可以對各種薄膜¿多層膜進行評估¿分析
概要
全自動薄膜檢測系統(tǒng) FF-1000 不僅可以應(yīng)對長寬 1m 以上的第五代大型玻璃基板，而且還可以應(yīng)對 TFT (Thin Film Transistor) 中的低溫多晶硅以及非晶硅、有機 EL(Organic Electro Luminescence) 等下一代FPD的制造工藝，非常有利于FPD的進一步普及和技術(shù)革新。
它可以高速且高精度地檢測各種玻璃基板上的各種薄膜以及多層膜的膜厚和光學(xué)常數(shù)。
全自動薄膜檢測系統(tǒng) FF-1000 使 HORIBA JOBIN YVON 公司的分光式橢圓偏光儀中融合了 HORIBA 的全自動檢測技術(shù)，是實現(xiàn)了全自動且可以同時進行統(tǒng)一檢測的全自動類型薄膜檢測系統(tǒng)(液晶用分光式橢圓偏光儀)。
特點
●也可以應(yīng)對TFT中的低溫多晶硅以及非晶硅、有機EL等下一代FPD
也可以適用于TFT中的低溫多晶硅以及技術(shù)性飛躍最為受到關(guān)注的有機EL等下一代FPD的制造工藝。

●也可以檢測第五代大型玻璃基板
可以適用于1110×1250mm的第五代大型玻璃基板等各種基板尺寸。
※有關(guān)更大的尺寸大小請另行咨詢協(xié)商。

●采用了沒有機械性振動的PEM元件，實現(xiàn)了高速¿高精度的檢測
HORIBA JOBIN YVON的分光式橢圓偏光儀和其他公司不同，采用使用了PEM元件的相位調(diào)制方式。不僅幾乎不會受到外光的影響，而且還沒有機械性振動，可實現(xiàn)高速¿高精度的檢測。
※光彈性¿調(diào)制器：光彈性調(diào)制元件
●可以檢測1nm的超薄膜以及TFT用的多層膜
可以對從190nm到830nm(標準：240¿830nm)的短波長到長波長之間廣泛范圍波長領(lǐng)域的膜厚進行檢測¿數(shù)據(jù)解析。
●包括100ms的高速¿高靈敏度檢測在內(nèi)，檢測可以從2種模式中進行選擇
單色模式：可以進行高精度評估
高速檢測模式：通過多波長同時檢測裝置，實現(xiàn)了高靈敏度、最小檢測時間100ms的高速檢測

多波長同時檢測裝置

●備有工程師模式和操作員模式這2種模式
工程師模式：可以進行細微的設(shè)定，以實現(xiàn)高度的解析
操作員模式：幾乎不會受到個人技術(shù)¿經(jīng)驗所左右的簡易操作模式

●搭載有可以對復(fù)雜的復(fù)合多層膜進行全自動解析的軟件
可以對光學(xué)常數(shù)以及組成¿均一性進行檢測¿解析
折射率、消衰系數(shù)的運算

●高精度的圖案識別功能※、可以連續(xù)檢測
搭載有高精度的圖案識別功能。可以通過全自動檢測點的判定，實現(xiàn)連續(xù)檢測。
※可選件

●也可以適用于最新的自動化生產(chǎn)線
不僅適用于工廠內(nèi)的LAN，而且還適用于AGV以及CIM等自動化生產(chǎn)線

FF-1000



規(guī)格
基本型號名稱
FF-1000
檢測模式/波長范圍
單色儀模式：240-830nm
多波長 高速檢測模式：240-830nm
適用樣品大小
適用于1110×1250 mm 等各種尺寸
(有關(guān)更大規(guī)格的尺寸請另行咨詢協(xié)商。)
圖案識別
可以適用(可選件)


全自動薄膜檢測系統(tǒng)(光電調(diào)制型橢圓偏振光譜儀)
FF-1000



使用了PEM元件的相位調(diào)制方式

所謂橢偏光譜法是指觀測光在在物質(zhì)的表面反射時的偏振狀態(tài)變化(入射和反射)，由此測量膜厚以及材質(zhì)等與物質(zhì)相關(guān)的信息的方法。

FF-1000在相位調(diào)制方式的測量原理中采用了使用PEM元件的橢圓偏振光譜儀。如圖所示，線偏振光通過PEM晶體后，將會形成被相位調(diào)制成50KHz頻率的橢圓偏光。因此，通過僅僅數(shù)毫秒的分析就可以決定Ψ、Δ。由于PEM的特性及其高的頻率檢測時間可以短到1ms。并且，由于cosΔ、sinΔ均可以檢測，所以Δ的精度很高。而且測量沒有機械性振動，實現(xiàn)了高速¿高精度的檢測。

■PEM原理圖


■ 檢測部構(gòu)成圖


全自動薄膜檢測系統(tǒng)(光電調(diào)制型橢圓偏振光譜儀)
FF-1000



操作畫面/檢測結(jié)果


●CIM Manager(通信控制模塊管理畫面)
在CIM Manager畫面中可顯示盒的lot ID一覽。希望檢測的lot設(shè)定也很簡單。


●Sensor Manager(傳感器管理畫面)
通過傳感器管理畫面可以一目了然地對檢測條件、檢測位置以及檢測結(jié)果等進行確認。


●DATA point (數(shù)據(jù)點畫面)
如果點擊各檢測點，就可以確認各檢測點的詳細信息。


●POINT view(點顯示畫面)
通過點擊被顯示在檢測面板畫面中的檢測點，可以確認檢測結(jié)果。


●Measurement Data Trend(檢測結(jié)果趨勢畫面)
可以把檢測結(jié)果顯示在趨勢圖表中。也可以對平均值、最大值、最小值、以及標準偏差自動進行計算。


●低溫多晶硅的檢測結(jié)果(Low Temperature p-Si)