多量程/多氣體
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
通用型高端型號
概要 適用多氣體/多量程 高精度：保證±1.0% S.P.(設(shè)置點(diǎn)) 高速響應(yīng)：滿量程1秒以內(nèi)(T98) 搭載有可變 PID 適用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列) 小型尺寸：適于面間距離 106mm、1.125inch(英寸)氣體面板、到50SLM同一面間距離的106mm 超清潔類型：接氣部采用全不銹鋼構(gòu)造，其內(nèi)面進(jìn)行研磨標(biāo)準(zhǔn)處理 和模擬MFC之間的完全互換：與數(shù)字/模擬通信相對應(yīng)(SEC-Z512MG/Z522MG) 適用于DeviceNet¿接口(SEC-Z514/Z524MG)
技術(shù)規(guī)格 型 式 SEC(質(zhì)量流量控制器) Z512MG (DeviceNet¿ 模式： Z514MG) Z522MG (DeviceNet¿ 模式： Z524MG) SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) Z512MG (DeviceNet¿ 模式： Z514MG) Z522MG (DeviceNet¿ model: Z524MG) 氣體接觸部材質(zhì) SUS316L、內(nèi)面研磨處理標(biāo)準(zhǔn) 閥門型號 NO:非通電時 開； NC:非通電時； 關(guān)閉 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) #01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM #04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM #07: 30/#08: 50 SLM (N2,H2,Ar,O2) ＊2 流量控制范圍 2¿100% F.S. 響應(yīng)速度 1秒以內(nèi) (T98) 流量精度＊1 ±1.0%S.P.以內(nèi)(25¿100%F.S.) ±0.25%F.S.以內(nèi)(2¿25%F.S.) 直線性 ±0.5% F.S. 重復(fù)穩(wěn)定性 ±0.2% F.S. 工作差壓值 50¿300kPa (d) #5.5 and #06 100¿300kPa(d) #07: 200¿300kPa(d)
#08： 200(閥門C)/250(閥門 O)¿300kPa(d) 最大工作壓力 450 kPa (G) 耐壓 1MPa(G) 外部泄漏率 5×10-12Pa¿m3/s (He) 使用環(huán)境溫度 5¿50℃ 流量設(shè)定信號 數(shù)字 ： RS-485 (F-Net 協(xié)議) DeviceNet¿ ： (SEC-Z514MG/Z524MG)
模擬 ： 0.1¿5VDC (輸入阻抗1MΩ以上) 流量輸出信號 數(shù)字 ： RS-485 (F-Net 協(xié)議) DeviceNet¿ ： (SEC-Z514MG/Z524MG)
模擬 ： 0¿5VDC (最小負(fù)荷電阻2kΩ) 驅(qū)動電源 ＋15V ±5% 150mA ¿15V ±5% 150mA DeviceNet¿ :
遵照 ODVA 標(biāo)準(zhǔn) (額定值 24VDC (11 to25VDC) 4VA 標(biāo)準(zhǔn)接頭多量程/多氣體
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司.)

確保±1.0% S.P.(設(shè)置點(diǎn))的精度
通過采用多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行高度的補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)了全流量控制域中流量精度的高精度化。
并且，使用高精度流量標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，測量多種工藝用氣體流量，力求提高實(shí)際氣體的流量精度。
流量精度
(標(biāo)準(zhǔn)F.S.流量量程)
±1.0% S.P. ?。?25¿100% F.S. ±0.25% F.S. ?。?2¿25% F.S.
利用多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行高度的補(bǔ)償

　



y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f
SEC-Z500 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)


滿量程1秒以內(nèi)(T98) 搭載有可變 PID(正在申請專利)

搭載了新開發(fā)的可變PID，實(shí)現(xiàn)了滿量程１秒以內(nèi)的高速響應(yīng)。可變PID可根據(jù)設(shè)定流量的變位連續(xù)地改變PID系數(shù)。
由于不必根據(jù)流量的變化量、氣體種類設(shè)定固定PID系數(shù)，所以在全標(biāo)度流量¿氣體種類的變更后也實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性。
SEC-Z500 0→2%F.S.響應(yīng)特性
全標(biāo)度變更前
把全標(biāo)度向25％變更后



多量程/多氣體
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
SEC-Z500 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司.)


適用多氣體/多量程

它可以由用戶進(jìn)行氣體種類的變更及全標(biāo)度流量的變更。為了幫助用戶變更技術(shù)規(guī)格，我們特準(zhǔn)備了專用的軟件。您不必從氣體面板以及配管中拆卸質(zhì)量流量控制器就可以變更技術(shù)規(guī)格。并且，作為服務(wù)措施，該型號還可以向客戶提出有關(guān)由客戶進(jìn)行管理并減少M(fèi)FC庫存和降低成本¿時間的建議。



1/4”VCR 類型或者集成氣體面板法蘭