隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個很重要的課題。
在一個64-Mbit的集成電路處理中，設計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
在這里用到了化學增強光學電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會導致零件的失效。
于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。
該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。
該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進行分析。
還有多通道型(16點)選配件供選擇。
兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。
特性：
堿性氣體的感應密度為0.01mg/m3。 酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)的感應密度同NH3。 應用了可靠的分析技術-離子色譜技術。 獨特的擴散吸取式采樣技術將樣氣中的污染物最小化。 最少的洗提液消耗量,一個月只需補給一次。 工作站時時狀態(tài)變化可由曲線圖表來監(jiān)測。 可以預測過濾器壽命。 可測量最多16點的樣氣(可選)。 CM501型符合國際安全標準SEMI S2-93A & S8-95及CE標準。 規(guī)格：
型號:無塵室氣體檢測器
CM501及CM502系統(tǒng)規(guī)格
測量
CM501;
堿性氣體(陽離子分析)和酸性氣體(陰離子分析:氧化物、磷酸、SO2等)
CM502;
堿性與酸性氣體
氣體采集方法
擴散吸取式采樣系統(tǒng)
分析方法
離子色譜
測量范圍
0～50mg/m3
最低檢測
范圍界限
0.01mg/m3
測量周期
最短周期為35min、45min、60min、90min
測量點數(shù)
1～16點(可選)
校正
校正采用標準解決方案，自動校正
外部聯(lián)系輸出
測量流跳躍信號、外部報警信號、外部報警重置信號
在一個64-Mbit的集成電路處理中，設計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
在這里用到了化學增強光學電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會導致零件的失效。
于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。
該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。
該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進行分析。
還有多通道型(16點)選配件供選擇。
兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。
特性：
堿性氣體的感應密度為0.01mg/m3。 酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)的感應密度同NH3。 應用了可靠的分析技術-離子色譜技術。 獨特的擴散吸取式采樣技術將樣氣中的污染物最小化。 最少的洗提液消耗量,一個月只需補給一次。 工作站時時狀態(tài)變化可由曲線圖表來監(jiān)測。 可以預測過濾器壽命。 可測量最多16點的樣氣(可選)。 CM501型符合國際安全標準SEMI S2-93A & S8-95及CE標準。 規(guī)格：
型號:無塵室氣體檢測器
CM501及CM502系統(tǒng)規(guī)格
測量
CM501;
堿性氣體(陽離子分析)和酸性氣體(陰離子分析:氧化物、磷酸、SO2等)
CM502;
堿性與酸性氣體
氣體采集方法
擴散吸取式采樣系統(tǒng)
分析方法
離子色譜
測量范圍
0～50mg/m3
最低檢測
范圍界限
0.01mg/m3
測量周期
最短周期為35min、45min、60min、90min
測量點數(shù)
1～16點(可選)
校正
校正采用標準解決方案，自動校正
外部聯(lián)系輸出
測量流跳躍信號、外部報警信號、外部報警重置信號
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