¿能用1臺(tái)控制器連接最大2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價(jià)地制造靜電監(jiān)視系統(tǒng)。
¿因?yàn)槭切⌒蛡鞲衅鞑?、能設(shè)置在各種制造裝置內(nèi)比較窄的地方、連續(xù)監(jiān)視可能。
¿因?yàn)橛芯瘓?bào)設(shè)定、如果在超越了設(shè)定的電位時(shí)、能與各種制造裝置傳動(dòng)。
¿裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
KSD-0120的規(guī)格
用途
¿監(jiān)視平面顯示器生產(chǎn)工序中的帶電量。
¿監(jiān)視半導(dǎo)體硬芯片(wafer)的帶電量。
¿監(jiān)視LSI 處理中及印刷電路板搬送中的帶電量。
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