¿比高價(jià)的靜電電位監(jiān)視系統(tǒng)制造方便,而且價(jià)格便宜。
¿開關(guān)能改變測量范圍、可以測量從低到高較大范圍的電位。
¿裝有檢出傳感器故障表示LED、并能輸出到外部。
KS-2100的規(guī)格
表示部
型式
KS-2100
檢出方式
振蕩型表面電位傳感器
測量范圍
有效距離① ±1~±2000V
有效距離② ±0.01~±20.00kV
模擬輸出
0~±5V
測量精度
±10%以內(nèi)
測量基準(zhǔn)距離
有效距離① 10mm
有效距離② 50mm
警報(bào)
查出傳感器故障LED表示,外部輸出
電源
DC12~24V±5%
環(huán)境
溫度0~40℃、濕度65%RH以下(沒有結(jié)露)
質(zhì)量
約100g(不含電纜)
付屬品
專用電纜5M(最大到100m為止)
用途
¿在顯影平面的生產(chǎn)工序的帶電量監(jiān)視。
¿半導(dǎo)體芯片帶電量監(jiān)視。
LSI的處理中及印刷電路板搬送中來監(jiān)視帶電量。
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