產(chǎn)品敘述:
晶圓基底測量系統(tǒng),非接觸,全自動測量提供出眾的吞吐量,使用于測量FOUP和FOSB。
特點,通過將運動面板以90度為增量進行旋轉(zhuǎn),實現(xiàn)對基底四個側(cè)面的連續(xù)測量。
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