將氙氣燈管中封入金屬蒸氣,高輝度·點(diǎn)光源的DEEP UV燈管是為實(shí)現(xiàn)1MBIT、4MBIT的VLSI、提升解像度而開發(fā)的,具有遠(yuǎn)紫外線的強(qiáng)光譜。并且因?yàn)檫@個領(lǐng)域的波長化學(xué)性活潑,故也研究其燒結(jié)以外的用途。
短波長域高能源
連續(xù)氙燈和紫外線光譜,高壓紫外線燈管在紫外線燈紅外區(qū)域的獲得更高能量.與超高壓水銀燈管相比,在未滿400MM短波區(qū)域能獲得更多能源.
集中,均一的光源,適合于光學(xué)制造原理.
分光分布圖
規(guī)格如下:
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