SIGMA KOKI 西格瑪光機(jī)激光譜線反射鏡產(chǎn)品描述
特征：
激光譜線反射鏡是一種在基板上，順序鍍上不同折射率的多層電介質(zhì)膜的全反射鏡。
多層電介質(zhì)膜幾乎沒有吸收，除部分紫外用反射鏡之外，其反射率可高達(dá)99%以上。
此種膜層比Al+氟化鎂(MgF2)膜更耐強(qiáng)激光。
反射波長(區(qū)間)和入射角有關(guān)。
可以提供3種類型激光譜線反射鏡。
[窄帶型] 針對某一具體激光波長的反射鏡，其設(shè)計(jì)入射角為45°。
[中寬帶型] 具有中等程度帶寬的多譜線反射鏡，其設(shè)計(jì)入射角為45°。
[寬帶型] 具有較寬帶寬的多譜線反射鏡，其設(shè)計(jì)入射角為45°。
注意
反面也是鏡面的反射鏡的鍍膜面的位置，由基板側(cè)面的箭頭指示。
激光譜線反射鏡的反射率隨入射光的偏光特性不同而變化。和P偏光相比，S偏光具有更高的反射率和更寬的帶域。表中的反射率是指隨機(jī)偏光的值，或（P偏光反射率＋S偏光反射率）/2。
反射率曲線是樣品的實(shí)測值，而且可能隨制造批次不同而變化。
檢查光路和調(diào)整光軸時(shí)，請一定戴好激光防護(hù)鏡。
面精度是鍍膜前的反射波面精度。

材料
BK7
CFU（紫外用CaF2結(jié)晶）
光學(xué)膜
多層電介質(zhì)膜
面精度測量法
采用ZYGO公司激光干涉儀測量基板
面精度測量用波長
632.8nm
面精度
λ/10、光學(xué)研磨(CFU)
平行度
≤3分
表面質(zhì)量
20-10
60-40
有效尺寸范圍
實(shí)際尺寸的90%

技術(shù)參數(shù)：

型號
波長范圍
[nm]
激光型號
D
[mm]
t
[mm]
材料
面精度
平行度
反面狀態(tài)
反射率
[%]
入射角
[°]
TFM-25.4C05-405
390—410
-
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-30C05-405
390—410
-
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-50C08-405
390—410
-
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-30C05-450
420—480
-
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-10C03-500
480—540
-
¿10
3
BK7
λ/10
≤3分
毛面
≥99.5
45±3
TFM-15C03-500
480—540
-
¿15
3
BK7
λ/10
≤3分
毛面
≥99.5
45±3
TFM-15C05-500
480—540
-
¿15
5
BK7
λ/10
≤3分
毛面
≥99.5
45±3
TFM-20C03-500
480—540
-
¿20
3
BK7
λ/10
≤3分
毛面
≥99.5
45±3
TFM-20C05-500
480—540
-
¿20
5
BK7
λ/10
≤3分
毛面
≥99.5
45±3
TFM-25C05-500
480—540
-
¿25
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-30C05-500
480—540
-
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3
TFM-50C08-500
480—540
-
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
≥99.5
45±3