日本西格瑪光機SIGMA KOKI Z軸TSD不銹鋼直動平臺(水平臺面型)TSDS-253產(chǎn)品描述：
特征：
移動臺面為水平的Z軸TSD不銹鋼直動平臺。
其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。
和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。
它強度非常好，經(jīng)久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。
它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。
規(guī)格參數(shù)：
型號
臺面尺寸
mm
行程
mm
螺距
[m/rotation]]
移動精度直線度
[mm]]
平行度
[N]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm]
最小分辨率
[mm
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛度Fx"
[arcsec/N¿cm]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-253
25 x 25
±3
0.5
0.01
0.08
0.015
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1
1
7.14
7.14
0.1
TSDS-403
40 x 40
±3
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
88.3 （9.0kgf）
3.9
3.9
1.84
1.84
0.25
TSDS-603
60 x 60
±5
0.5
0.005
0.08
0.025
0.01
0.003
147.0 （15.0kgf）
6.9
6.9
0.51
0.51
1
特征：
移動臺面為水平的Z軸TSD不銹鋼直動平臺。
其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。
和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。
它強度非常好，經(jīng)久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。
它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。
規(guī)格參數(shù)：
型號
臺面尺寸
mm
行程
mm
螺距
[m/rotation]]
移動精度直線度
[mm]]
平行度
[N]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm]
最小分辨率
[mm
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛度Fx"
[arcsec/N¿cm]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-253
25 x 25
±3
0.5
0.01
0.08
0.015
0.01
0.003
29.4 （3.0kgf）
1
1
7.14
7.14
0.1
TSDS-403
40 x 40
±3
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
88.3 （9.0kgf）
3.9
3.9
1.84
1.84
0.25
TSDS-603
60 x 60
±5
0.5
0.005
0.08
0.025
0.01
0.003
147.0 （15.0kgf）
6.9
6.9
0.51
0.51
1
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