特征:
移動臺面為水平的XYZ軸TSD不銹鋼平臺。
其基本特性,如高剛性,高承載能力,優(yōu)異的直線性和精密定位性能等,和TSD直動平臺一樣。
和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比,不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強度非常好,經(jīng)久耐用,抗沖擊,耐磨損,適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理,其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄,密封性高的場合。
L型的Z軸的操作部位于上方,因此不受安裝方向的限制,具有很好的操作性能。
規(guī)格參數(shù):
型號
臺面尺寸
mm
行程
mm
螺距
移動精度直線度
[mm]]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm]
最小分辨率
[mm
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩FY'
[N¿m]
剛剛度Fx
剛度Fy
自重
[kg]
TSDS-255S
25 x 25
XY軸:±3
Z軸:±3
0.5
0.005
0.13
0.01
0.003
29.4 (3.0kgf)
1
1
10.55
10.55
0.2
TSDS-405C
40 x 40
XY軸:±6.5
Z軸:±3
0.5
0.005
0.13
0.01
0.003
88.3 (9.0kgf)
3.9
3.9
2.5
2.5
0.55
TSDS-405S
40 x 40
XY軸:±6.5
Z軸:±3
0.5
0.005
0.13
0.01
0.003
88.3 (9.0kgf)
3.9
3.9
2.5
2.5
0.55
TSDS-605C
60 x 60
XY軸:±6.5
Z軸:±5
0.5
0.005
0.13
0.01
0.003
147 (15.0kgf)
6.9
6.9
1
1
1.9
TSDS-605S
60 x 60
XY軸:±6.5
Z軸:±5
0.5
0.005
0.13
0.01
0.003
147 (15.0kgf)
6.9
6.9
1
1
1.9
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