特征:
3軸微調(diào)精密平臺(tái)。
由XY軸軸承鋼制平臺(tái)與θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)組成。
本產(chǎn)品把θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)安裝在XY平臺(tái)的上面,使用XY平臺(tái)調(diào)整轉(zhuǎn)動(dòng)中心的位置。(比如,調(diào)整顯微鏡尺矩板的中心。)
XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在平臺(tái)側(cè)面,不占空間。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm]
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
[°]
承載能力Fz分
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛度Fx"
[arcsec/N¿cm]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-407S
¿40
(XYθ軸)
XY軸:±6.5
粗調(diào):360
微調(diào):±5
49.0 (5.0kgf)
0.3
0.3
2.2
2.2
0.6
TSD-607S
¿60
(XYθ軸)
XY軸:±6.5
粗調(diào):360
微調(diào):±5
68.6 (7.0kgf)
0.4
0.4
1.5
1.5
1.4
TSD-807S
¿60
(XYθ軸)
XY軸:±12.5
粗調(diào):360
微調(diào):±5
58.8 (6.0kgf)
1
1
1
1
1.9
TSD-1007S
¿100
(XYθ軸)
XY軸:±12.5
粗調(diào):360
微調(diào):±5
68.6 (7.0kgf)
1
1
0.91
0.91
3.3
TSD-1207SH
¿120
(XYθ軸透過型)
XY軸:±20
粗調(diào):360
微調(diào):±5
196.0 (20.0kgf)
9.8
9.8
0.22
0.22
4.2
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