日本西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60RP(OP )
特征：
SFS 系列平臺是我們最新開發(fā)的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅動件的超精密定位平臺。其中，有部分產(chǎn)品內置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制，可以實現(xiàn)20nm 的分辨率，90µm 行程，320µm 的手動粗調。 我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構。并采用我公司的超精密加工技術進行生產(chǎn)制造。 注意
所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。 所有數(shù)據(jù)均為單個平臺的數(shù)據(jù)，而非組裝后的復合體，“復合”平臺。 所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內的值，而且載荷在平臺中心，無偏載。 所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。 行程為開環(huán)控制時的數(shù)據(jù)。 直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350¿s 時的閉環(huán)控制時的值；對于轉動平臺和擺動平臺，則是開環(huán)控制時的值。 分辨率是使用FINE-01，503 時的數(shù)據(jù)。 采用FINE 控制器，改善了閉環(huán)控制時的直線性。 CL：采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺／ OP：無位移傳感器的開環(huán)控制平臺
規(guī)格：
型號
行程（粗調）
行程（細調）
自重
[kg]
承載能力
[N]
理論分辨率（開環(huán)）]
分辨率（閉環(huán)）
重復重復定位精度
[µm]
Y軸方向直線度
[µm]
Z軸方向直線度
[µm]
SFS-60X(CL)
320±10% （µm)
90±10% （µm)
0.37
9.8 （1kgf)
1 （nm
20 （nm)
0.1
1
0.5
SFS-60YAW(OP
57±15% （分)
900±15% （秒)
0.31
9.8 （1kgf)
0.01 （秒)
－
－
－
－
SFS-60RP(OP)
25±15% （分)
215±15% （秒)
0.38
9.8 （1kgf)
0.005 （秒)
－
－
－
－
特征：
SFS 系列平臺是我們最新開發(fā)的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅動件的超精密定位平臺。其中，有部分產(chǎn)品內置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制，可以實現(xiàn)20nm 的分辨率，90µm 行程，320µm 的手動粗調。 我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構。并采用我公司的超精密加工技術進行生產(chǎn)制造。 注意
所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。 所有數(shù)據(jù)均為單個平臺的數(shù)據(jù)，而非組裝后的復合體，“復合”平臺。 所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內的值，而且載荷在平臺中心，無偏載。 所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。 行程為開環(huán)控制時的數(shù)據(jù)。 直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350¿s 時的閉環(huán)控制時的值；對于轉動平臺和擺動平臺，則是開環(huán)控制時的值。 分辨率是使用FINE-01，503 時的數(shù)據(jù)。 采用FINE 控制器，改善了閉環(huán)控制時的直線性。 CL：采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺／ OP：無位移傳感器的開環(huán)控制平臺
規(guī)格：
型號
行程（粗調）
行程（細調）
自重
[kg]
承載能力
[N]
理論分辨率（開環(huán)）]
分辨率（閉環(huán)）
重復重復定位精度
[µm]
Y軸方向直線度
[µm]
Z軸方向直線度
[µm]
SFS-60X(CL)
320±10% （µm)
90±10% （µm)
0.37
9.8 （1kgf)
1 （nm
20 （nm)
0.1
1
0.5
SFS-60YAW(OP
57±15% （分)
900±15% （秒)
0.31
9.8 （1kgf)
0.01 （秒)
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SFS-60RP(OP)
25±15% （分)
215±15% （秒)
0.38
9.8 （1kgf)
0.005 （秒)
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