日本西格瑪光機(jī)XY軸TSD不銹鋼直動平臺TSDS-602C
特征：
其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。 和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強(qiáng)度非常好，經(jīng)久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導(dǎo)軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。
規(guī)格：
型號
臺面尺寸（mm）
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移動
度;直線度
[mm]
移動精度;俯仰
[arcsec]
移動精度;左右擺動
[arcsec]
平行度
[mm]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
最大承載力矩Fθ'
[N¿m]
剛性
Fx'
[秒/N¿m]
剛性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-252C
25x25
±
3
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0gf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-252S
±
3
0.5
0.002
35
35
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0kgf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-402C
40x40
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-402S
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-602C
60x60
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
TSDS-602S
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
特征：
其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。 和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強(qiáng)度非常好，經(jīng)久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導(dǎo)軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。
規(guī)格：
型號
臺面尺寸（mm）
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移動
度;直線度
[mm]
移動精度;俯仰
[arcsec]
移動精度;左右擺動
[arcsec]
平行度
[mm]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
最大承載力矩Fθ'
[N¿m]
剛性
Fx'
[秒/N¿m]
剛性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-252C
25x25
±
3
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0gf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-252S
±
3
0.5
0.002
35
35
0.05
0.02
0.01
0.003
39.2(4.0kgf)
2
2
1
3.4
3.4
0.1
TSDS-402C
40x40
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-402S
±
6.5
0.5
0.002
30
25
0.05
0.02
0.01
0.003
147(15.0kgf)
3.9
3.9
2.5
0.66
0.66
0.3
TSDS-602C
60x60
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
TSDS-602S
±
6.5
0.5
0.002
25
15
0.05
0.02
0.01
0.003
294(30.0kgf)
8.8
8.8
4.9
0.41
0.41
0.9
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