特征:
超寬帶電介質(zhì)膜反射鏡均采用了多層膜,它由不同折射率的膜層疊加而成。設(shè)計時,其入射角被設(shè)定為45°。
此類反射鏡實現(xiàn)了前所未有的寬反射帶。
單一反射鏡的帶寬就覆蓋了可見光和近紅外區(qū)的波長。
和金屬膜相比,它有很多優(yōu)點。例如,其特性幾乎不隨時間經(jīng)過而劣化,耐用,容易清潔等。
注意
電介質(zhì)膜反射鏡的反射率隨入射光的偏光特性不同而變化。和P偏光相比,S偏光有較高的反射率和更寬的反射帶域。
反面也是鏡面的反射鏡的鍍膜面的位置,由基板側(cè)面的箭頭指示。
激光譜線反射鏡的反射率隨入射光的偏光特性不同而變化。和P偏光相比,S偏光具有更高的反射率和更寬的帶域。表中的反射率是指隨機偏光的值,或(P偏光反射率+S偏光反射率)/2。
反射率曲線是樣品的實測值,而且可能隨制造批次不同而變化。
檢查光路和調(diào)整光軸時,請一定戴好激光防護鏡。
面精度是鍍膜前的反射波面精度
材料
BK7
光學(xué)膜
多層電介質(zhì)膜
面精度測量法
采用ZYGO公司激光干涉儀測量基板
面精度測量用波長
632.8nm
面精度
λ/10
平行度
≤3分
表面質(zhì)量
40-20
有效尺寸范圍
實際尺寸的90%
技術(shù)參數(shù):
型號
波長范圍
[nm]
D
[mm]
t
[mm]
材料
面精度
平行度
反面狀態(tài)
反射率
[%]
入射角
[°]
TFMS-25.4C05-2/4
245—400
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
TFMS-30C05-2/4
245—400
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
TFMS-25.4C05-2/7
245—700
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
TFMS-30C05-2/7
245—700
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
TFMS-25.4C05-4/11
400—1100
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-30C05-4/11
400—1100
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-50C08-4/11
400—1100
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-25.4C05-4/20
400—2000
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-30C05-4/20
400—2000
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-50C08-4/20
400—2000
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥98
45±3
TFMS-25.4C05-3/20
300—2000
¿30
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
TFMS-30C05-3/20
300—2000
¿50
8
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥979
45±3
TFMS-50C08-3/20
300—2000
¿25.4
5
BK7
λ/10
≤3分
光面
平均值 ≥97
45±3
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