特征:
· 其基本特性,如高剛性,高承載能力,優(yōu)異的直線性和精密定位性能等,和TSD直動平臺一樣。
· 和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比,不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強度非常好,經(jīng)久耐用,抗沖擊,耐磨損,適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理,其不銹鋼測微頭和導(dǎo)軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于真空或密封性要求高的場合。
規(guī)格:
型號
臺面尺寸(mm)
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移動
度;直線度
[mm]
移動精度;俯仰
[arcsec]
移動精度;左右擺動
[arcsec]
平行度
[mm]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
最大承載力矩Fθ'
[N¿m]
剛性
Fx'
[秒/N¿m]
剛性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSD-60161SDM
60x160
粗:±3.5
微:
±
3
粗:5
微:
±
0.5
0.005
25
15
0.05
0.015
0.01
0.003
490(50.0kgf)
29.4
9.8
14.7
0.07
0.2
1.3
TSD-10161SDM
100x160
粗:±3.5
微:
±
3
粗:5
微:
±
0.5
0.005
25
15
0.05
0.015
0.01
0.003
686(70.0kgf)
51
41.7
19.6
0.03
0.03
2.5
TSDS-251C
25x25
±3
0.5
0.002
30
25
0.03
0.01
0.01
0.003
39.2(40.0kgf)
2
2.5
1
1.8
1.6
0.07
TSDS-251S
±3
0.5
0.002
35
35
0.03
0.01
0.01
0.003
39.2(40.0kgf)
2
2.5
1
1.8
1.6
0.07
TSDS-401C
40x40
±6.5
0.5
0.002
30
25
0.03
0.01
0.01
0.003
147(15.0.kgf)
3.9
3.9
2.5
0.36
0.3
0.2
TSDS-401S
±6.5
0.5
0.002
30
25
0.03
0.01
0.01
0.003
147(15.0.kgf)
3.9
3.9
2.5
0.36
0.3
0.2
TSDS-601C
60x60
±6.5
0.5
0.002
25
15
0.03
0.01
0.01
0.003
294(30.0.kgf)
8.8
9.8
4.9
0.2
0.2
0.5
TSDS-601S
±6.5
0.5
0.002
25
15
0.03
0.01
0.01
0.003
294(30.0.kgf)
8.8
9.8
4.9
0.2
0.2
0.5
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