日本西格瑪光機XZ軸TSD不銹鋼直動平臺TSDS-604S
特征：
移動臺面為水平的XZ軸TSD不銹鋼平臺。 其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。 和一般鋼質或鋁質平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強度非常好，經久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。 L型的Z軸的操作部位于上方，因此不受安裝方向的限制，具有很好的操作性能。 規(guī)格：
型號
臺面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移動
度;直線度
[mm]
平行度
[mm]
最小讀數
[mm
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛性
Fx'
[秒/N¿m]
剛性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-254C
25x25
X軸：±
3
Z軸：±
3
0.5
0.01
0.11
0.01
0.003
29.4(3.0gf)
1
0.7
8.95
8.75
0.17
TSDS-254S
X軸：±
3
Z軸：±
3
0.5
0.01
0.11
0.01
0.003
29.4(3.0gf)
1
0.7
8.95
8.75
0.17
TSDS-404C
40x40
X軸：±
6.5
Z軸：±
3
0.5
0.005
0.11
0.01
0.003
88.3(9.0gf)
3.9
3.9
2.2
2.15
0.45
TSDS-404S
X軸：±
6.5
Z軸：±
3
0.5
0.005
0.11
-
0.003
88.3(9.0gf)
3.9
3.9
2.2
2.15
0.45
TSDS-604C
60x60
X軸：±
6.5
Z軸：±
5
0.5
0.005
0.11
-
0.003
147(15.0gf)
6.9
6.9
0.75
0.75
1.5
TSDS-604S
X軸：±
6.5
Z軸：±
5
0.5
0.005
0.11
-
0.003
147(15.0gf)
6.9
6.9
0.75
0.75
1.5
特征：
移動臺面為水平的XZ軸TSD不銹鋼平臺。 其基本特性，如高剛性，高承載能力，優(yōu)異的直線性和精密定位性能等，和TSD直動平臺一樣。 和一般鋼質或鋁質平臺相比，不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強度非常好，經久耐用，抗沖擊，耐磨損，適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理，其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄，密封性高的場合。 L型的Z軸的操作部位于上方，因此不受安裝方向的限制，具有很好的操作性能。 規(guī)格：
型號
臺面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
[mm/rotation]
移動
度;直線度
[mm]
平行度
[mm]
最小讀數
[mm
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛性
Fx'
[秒/N¿m]
剛性
Fy'
[秒/N¿m]
自重
[Kg]
TSDS-254C
25x25
X軸：±
3
Z軸：±
3
0.5
0.01
0.11
0.01
0.003
29.4(3.0gf)
1
0.7
8.95
8.75
0.17
TSDS-254S
X軸：±
3
Z軸：±
3
0.5
0.01
0.11
0.01
0.003
29.4(3.0gf)
1
0.7
8.95
8.75
0.17
TSDS-404C
40x40
X軸：±
6.5
Z軸：±
3
0.5
0.005
0.11
0.01
0.003
88.3(9.0gf)
3.9
3.9
2.2
2.15
0.45
TSDS-404S
X軸：±
6.5
Z軸：±
3
0.5
0.005
0.11
-
0.003
88.3(9.0gf)
3.9
3.9
2.2
2.15
0.45
TSDS-604C
60x60
X軸：±
6.5
Z軸：±
5
0.5
0.005
0.11
-
0.003
147(15.0gf)
6.9
6.9
0.75
0.75
1.5
TSDS-604S
X軸：±
6.5
Z軸：±
5
0.5
0.005
0.11
-
0.003
147(15.0gf)
6.9
6.9
0.75
0.75
1.5
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