特征:
對應(yīng)M6的,水平臺面型Z軸不銹鋼平臺,可用于真空環(huán)境。
固定平臺的孔,以及臺面螺孔等為M6的平臺??梢苑奖愕毓潭ㄓ诰哂蠱6螺紋孔的光學(xué)平臺。
技術(shù)參數(shù):
型號
臺面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
移動精度直線度
[mm]
移動平行度
[mm]
移動平行度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm]
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛度Fx"
剛度Fy"
TSDS-653-M6
65 x 65
±6.5
0.5
0.005
0.08
0.02
0.01
0.003
147.0 (15.0kgf)
6.9
6.9
0.51
0.51
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