日本西格瑪壓電陶瓷平臺物鏡驅(qū)動器SFS-OBL-1
特征：
它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動器，并內(nèi)置了小位移傳感器。 小巧，高速，高分辨率的納米級定位裝置。 具有小于1nm 的理論分辨率，行程大約為100µm。 SFS-OBL-1 是一款最適用于實驗或研究用途的小型，高精度的物鏡驅(qū)動器。SFS-OBL-2 是一款耐久性好，高精度的壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器，適用于高速檢測，激光加工機，工業(yè)自動化生產(chǎn)線。 FINE-01/503 控制器可控制此平臺。 具有RS232C，GP-IB，USB 接口，可方便地實現(xiàn)計算機連接。 采用獨自開發(fā)的應(yīng)用軟件SGMMCS，SGTERMS，SGSFSX，可方便地實現(xiàn)精密測量和精密定位。 適用于如掃描型干涉儀，表面結(jié)構(gòu)分析，自動調(diào)焦系統(tǒng)，共焦顯微鏡，生物和半導(dǎo)體測試裝置等。 只要交換一下適配器，就可和奧林巴斯，尼康，三豐等的物鏡互換。 不同類型的顯微鏡，有時其安裝方法也有所不同。 在您垂詢時，請一定告知我們您所用顯微鏡的制造廠商名稱，型號以及物鏡型號和安裝尺寸。 規(guī)格：
對應(yīng)鏡片直徑mm
重量【kg】
理論分辨率（開環(huán)時）【nm】
分辯率（閉環(huán)時）【nm】
直線性誤差（%）
直線度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重復(fù)定位精度【um】
承載能力【kg】
微小變換檢測
調(diào)節(jié)器
型號
外形尺寸(mm)
¢20.23
0.15
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
數(shù)顯檢測
壓電石英晶體
SFS-OBL-1
75x52.5x42
特征：
它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動器，并內(nèi)置了小位移傳感器。 小巧，高速，高分辨率的納米級定位裝置。 具有小于1nm 的理論分辨率，行程大約為100µm。 SFS-OBL-1 是一款最適用于實驗或研究用途的小型，高精度的物鏡驅(qū)動器。SFS-OBL-2 是一款耐久性好，高精度的壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器，適用于高速檢測，激光加工機，工業(yè)自動化生產(chǎn)線。 FINE-01/503 控制器可控制此平臺。 具有RS232C，GP-IB，USB 接口，可方便地實現(xiàn)計算機連接。 采用獨自開發(fā)的應(yīng)用軟件SGMMCS，SGTERMS，SGSFSX，可方便地實現(xiàn)精密測量和精密定位。 適用于如掃描型干涉儀，表面結(jié)構(gòu)分析，自動調(diào)焦系統(tǒng)，共焦顯微鏡，生物和半導(dǎo)體測試裝置等。 只要交換一下適配器，就可和奧林巴斯，尼康，三豐等的物鏡互換。 不同類型的顯微鏡，有時其安裝方法也有所不同。 在您垂詢時，請一定告知我們您所用顯微鏡的制造廠商名稱，型號以及物鏡型號和安裝尺寸。 規(guī)格：
對應(yīng)鏡片直徑mm
重量【kg】
理論分辨率（開環(huán)時）【nm】
分辯率（閉環(huán)時）【nm】
直線性誤差（%）
直線度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重復(fù)定位精度【um】
承載能力【kg】
微小變換檢測
調(diào)節(jié)器
型號
外形尺寸(mm)
¢20.23
0.15
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
數(shù)顯檢測
壓電石英晶體
SFS-OBL-1
75x52.5x42
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