內(nèi)置小型,高分辨率的線性光柵尺;采用專用控制器實現(xiàn)了高精度,高可靠性的閉環(huán)控制。
采用了本公司獨特的加工技術(shù),高精度制造R 型導(dǎo)軌,實現(xiàn)了高精度,平滑的運動平臺。采用R 型導(dǎo)軌和精密螺杠的組合,降低了成本。
導(dǎo)軌部采用了一體化加工技術(shù),尺寸小,剛性好,非常適用于低光軸的實驗裝置。
技術(shù)參數(shù):
型號
平臺尺寸
[mm]
極限位置傳感器
行程
[mm]
最大速度
[mm/sec]
自重
[kg]
承載能力
[N]
定位精度
[mm]
重復(fù)定位精度
[mm]
反轉(zhuǎn)時的空行程
[mm]
直線度
[mm]
TSDM(GS)60-15X
60 x 60
GF1S092HCPI
15
5
0.8
20 (2kgf)
0.005
0.0005
0.0005
0.002
TSDM(GS)80-20X
80 x 80
PM-L24
20
5
1.1
30 (3kgf)
0.005
0.0005
0.0005
0.002
TSDM(GS)60-10ZF
60 x 60
PM-F24
10
2
0.7
20 (2kgf)
0.002
0.0005
0.0005
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