特征:
3軸微調精密平臺。
由XY軸軸承鋼制平臺與θ軸轉動平臺組成。
本產品把θ軸轉動平臺安裝在XY平臺的上面,使用XY平臺調整轉動中心的位置。(比如,調整顯微鏡尺矩板的中心。)
XY軸平臺的測微頭在平臺側面,不占空間。
技術參數(shù):
型號
臺面尺寸
[mm]
行程
[mm]
轉動范圍
[°]
承載能力Fz分
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fy'
[N¿m]
剛度Fx"
[arcsec/N¿cm]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-407S
¿40
(XYθ軸)
XY軸:±6.5
粗調:360
微調:±5
49.0 (5.0kgf)
0.3
0.3
2.2
2.2
0.6
TSD-607S
¿60
(XYθ軸)
XY軸:±6.5
粗調:360
微調:±5
68.6 (7.0kgf)
0.4
0.4
1.5
1.5
1.4
TSD-807S
¿60
(XYθ軸)
XY軸:±12.5
粗調:360
微調:±5
58.8 (6.0kgf)
1
1
1
1
1.9
TSD-1007S
¿100
(XYθ軸)
XY軸:±12.5
粗調:360
微調:±5
68.6 (7.0kgf)
1
1
0.91
0.91
3.3
TSD-1207SH
¿120
(XYθ軸透過型)
XY軸:±20
粗調:360
微調:±5
196.0 (20.0kgf)
9.8
9.8
0.22
0.22
4.2
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