氨濃度計 ON-96
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
近年來隨著LSI的高度集約化，需要高純度的電子工業(yè)用藥液。ON-96可以高精度地檢測半導體工藝中使用的氨水濃度。
特點
DIN96的小巧尺寸
可以同時顯示檢測值和參數(shù)，也可以進行溫度檢測
校正曲線的補正功能
操作簡單，只需要與已測溶液的1個濃度點相匹配
可以實現(xiàn)超純氨水的高精度的溫度補償
傳感器使用了耐熱、耐蝕性良好的材質(zhì)
自由電源
存儲備份
規(guī)格 型號
ON-96
測量液
超純氨水ELM等級+DIW
測量原理
根據(jù)內(nèi)部測量曲線將測量到的電導率換算成NH4OH濃度
測量范圍
0.00¿2.00wt%5.0¿50.0℃(只顯示溫度)
再現(xiàn)性
25℃±5℃時在±3%/FS條件下使用半導體用氨水(Mitsubishi Gas Chemical Corp.，超純氨水ELM等級)中
傳送輸出
DC4¿20mA (隔離輸入輸出型)，最大負荷電阻500Ω
傳送輸出范圍
0.00¿2.00wt%
調(diào)整功能
1c觸點輸出 2CH獨立電容:AC250V,3Amax(電阻負荷)
控制操作
ON/OFF控制:上限操作(Hi)或者下限操作(Lo)(通過面板DIP開關(guān)進行選擇切換)
*上、下限設(shè)定范圍 量程內(nèi)
*控制幅度 全刻度的0¿20%(0¿±10%)設(shè)定值，可以通過絕對值進行設(shè)定
附加功能
1)單元常數(shù)的設(shè)定
2)校正曲線補正功能
3)各種錯誤信息
1.傳感器診斷錯誤 (溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線)
2.測量范圍外錯誤 (全刻度以上、全刻度以下)
3.系統(tǒng)錯誤 (A/D變頻器不良、存儲器異常)
4)校正時的傳送輸出：連續(xù)、保持前值 (通過面板DIP開關(guān)進行選擇切換)
5)溫度校正功能 :1點校正
參考溫度
25℃
溫度補償系數(shù)
超純氨水， ELM等級
溫度補償范圍
5至50℃
電源
AC90¿260V ，50/60Hz ，10W
構(gòu)造
面板固定DIN96×96 室內(nèi)安裝型外盒：SPCC 面板：ABS
外形尺寸
96(W)×96(H)×145(D) 外盒深度:135mm
質(zhì)量
約650g
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
近年來隨著LSI的高度集約化，需要高純度的電子工業(yè)用藥液。ON-96可以高精度地檢測半導體工藝中使用的氨水濃度。
特點
DIN96的小巧尺寸
可以同時顯示檢測值和參數(shù)，也可以進行溫度檢測
校正曲線的補正功能
操作簡單，只需要與已測溶液的1個濃度點相匹配
可以實現(xiàn)超純氨水的高精度的溫度補償
傳感器使用了耐熱、耐蝕性良好的材質(zhì)
自由電源
存儲備份
規(guī)格 型號
ON-96
測量液
超純氨水ELM等級+DIW
測量原理
根據(jù)內(nèi)部測量曲線將測量到的電導率換算成NH4OH濃度
測量范圍
0.00¿2.00wt%5.0¿50.0℃(只顯示溫度)
再現(xiàn)性
25℃±5℃時在±3%/FS條件下使用半導體用氨水(Mitsubishi Gas Chemical Corp.，超純氨水ELM等級)中
傳送輸出
DC4¿20mA (隔離輸入輸出型)，最大負荷電阻500Ω
傳送輸出范圍
0.00¿2.00wt%
調(diào)整功能
1c觸點輸出 2CH獨立電容:AC250V,3Amax(電阻負荷)
控制操作
ON/OFF控制:上限操作(Hi)或者下限操作(Lo)(通過面板DIP開關(guān)進行選擇切換)
*上、下限設(shè)定范圍 量程內(nèi)
*控制幅度 全刻度的0¿20%(0¿±10%)設(shè)定值，可以通過絕對值進行設(shè)定
附加功能
1)單元常數(shù)的設(shè)定
2)校正曲線補正功能
3)各種錯誤信息
1.傳感器診斷錯誤 (溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線)
2.測量范圍外錯誤 (全刻度以上、全刻度以下)
3.系統(tǒng)錯誤 (A/D變頻器不良、存儲器異常)
4)校正時的傳送輸出：連續(xù)、保持前值 (通過面板DIP開關(guān)進行選擇切換)
5)溫度校正功能 :1點校正
參考溫度
25℃
溫度補償系數(shù)
超純氨水， ELM等級
溫度補償范圍
5至50℃
電源
AC90¿260V ，50/60Hz ，10W
構(gòu)造
面板固定DIN96×96 室內(nèi)安裝型外盒：SPCC 面板：ABS
外形尺寸
96(W)×96(H)×145(D) 外盒深度:135mm
質(zhì)量
約650g
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