氫氟酸濃度計(jì) CM-200/210
實(shí)時(shí)顯示半導(dǎo)體制造工藝中的氫氟酸濃度
概要
為監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝中氫氟酸濃度而開(kāi)發(fā)出來(lái)的高精度氫氟酸濃度計(jì)。該設(shè)備通過(guò)采用電磁感應(yīng)導(dǎo)電率計(jì)測(cè)量并實(shí)時(shí)顯示氫氟酸濃度。廣泛適用于各個(gè)使用氫氟酸的制造工藝，例如：清洗蝕刻后的晶片。
特點(diǎn)
實(shí)時(shí)顯示氫氟酸濃度
可以通過(guò)導(dǎo)電率傳感器檢測(cè)氫氟酸濃度，通過(guò)<導(dǎo)電率>-<氟酸濃度>的檢量線(xiàn)，自動(dòng)地實(shí)時(shí)顯示氟酸濃度。

實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實(shí)現(xiàn)了±2%F.S.以?xún)?nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲(chǔ)器生產(chǎn)線(xiàn)中發(fā)揮出威力。

確保穩(wěn)定檢測(cè)的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)完全被PFA樹(shù)脂模塊化，所以不會(huì)因氫氟酸溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且，金屬等不純物不會(huì)溶入到樣品溶液中，因此可以對(duì)其進(jìn)行穩(wěn)定的檢測(cè)。

裝有報(bào)警功能
為了實(shí)現(xiàn)更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限¿濃度上上限¿濃度下限¿濃度下下限的報(bào)警輸出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型¿輕便，最適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒(méi)到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途自由選擇

氫氟酸濃度計(jì)
CM-200/210



規(guī)格
測(cè)量原理 電磁感應(yīng)導(dǎo)電率檢測(cè)方式 檢測(cè)對(duì)象 水+氫氟酸溶液 量程 0¿1/2/5/10/20HFwt%(請(qǐng)您在訂貨時(shí)指定) 再現(xiàn)性 ±2% F.S 響應(yīng)時(shí)間 90%響應(yīng)5秒以?xún)?nèi)(恒溫條件下) 樣品條件 溫度：25±3℃
壓力：沉浸型0¿0.02MPa、流通型0¿0.1MPa 顯示 氫氟酸濃度:最小顯示值0.001%(在0-1%量程中)
報(bào)警: 濃度上限、上上限、下限、下下限







外形尺寸圖






氫氟酸濃度計(jì)
CM-200/210



測(cè)量原理


2個(gè)環(huán)狀螺線(xiàn)管(T1是通過(guò)交流電的勵(lì)磁變壓器、T2是檢測(cè)變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當(dāng)傳感器沉浸在溶液中時(shí)，溶液將在2個(gè)環(huán)狀螺線(xiàn)管之間產(chǎn)生一個(gè)閉合回路。如果環(huán)狀螺線(xiàn)管T1的線(xiàn)圈中通過(guò)一恒定的交流電流，則會(huì)在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場(chǎng)，依照樣品的導(dǎo)電率電流i流過(guò)樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線(xiàn)管T2中將會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的磁場(chǎng)，并且在T2的線(xiàn)圈中將會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。由于感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e(電壓)與樣品的電導(dǎo)率呈比例關(guān)系，通過(guò)測(cè)量e可得知電導(dǎo)率值。這樣經(jīng)過(guò)檢測(cè)的導(dǎo)電率和氫氟酸濃度存在極高的關(guān)聯(lián)性，可以根據(jù)預(yù)已知的參考曲線(xiàn)計(jì)算得出并顯示氫氟酸濃度。



氫氟酸濃度計(jì)
CM-200/210



在WET STATION中安裝HF傳感器示例