X射線分析顯微鏡 XGT-5000系列
10µm的革命　Innovation of 10µm
你能發(fā)揮該裝置的真正實(shí)力。


概要
10µm的X射線。開發(fā)了獨(dú)有的X射線導(dǎo)管(X-ray Guide Tube)，最終得以實(shí)現(xiàn)超¿微細(xì)X射束。可一邊掃描試樣，一邊照射X射線，與CCD照相機(jī)和X射線檢測(cè)器連動(dòng)，通過光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察，成功實(shí)現(xiàn)了使用X射線分析裝置完美地完全融合元素分析的功能。它進(jìn)入了與現(xiàn)在不同的新一代顯微鏡世界。＜XGT＞推動(dòng)科學(xué)進(jìn)入新時(shí)代。

特點(diǎn) 用一臺(tái)裝置進(jìn)行各種可能性的分析。 觀察后立即分析。觀察到的“簡(jiǎn)單定位”。 對(duì)應(yīng)從微觀到宏觀的多種試樣。 XGT解決的、分析的各種“困難”。
X射線分析顯微鏡
XGT-5000系列
10µm的革命　Innovation of 10µm
你能發(fā)揮該裝置的真正實(shí)力。



規(guī)格
XGT-5000
Type I
Type II
XGT系統(tǒng)
高靈敏度類型(空間分解能：10µm、100µm)
-
○
標(biāo)準(zhǔn)類型(空間分解能：100µm)
○可添加10µm
-
透射X射線檢測(cè)器

○ (可選項(xiàng)) ※1
○
光學(xué)像
全體光學(xué)像觀察系統(tǒng)
○ (可選項(xiàng))
○ (×1.5～×25)
詳細(xì)光學(xué)像同軸觀察系統(tǒng)
○ (×30) ※2
○ (×100)
從光學(xué)像中指定測(cè)定位置
○
○
通用規(guī)格
X射線管
最大50 kV、1 mA、Rh目的靶
熒光X射線檢測(cè)器
高純度Si檢測(cè)器(Xerophy)
檢測(cè)元素
Na～U(在試樣大氣中)
能量范圍
0～40 keV
最大測(cè)定區(qū)域/最大試樣尺寸
100 ㎜×100 ㎜ / 350 ㎜×400 ㎜×40 ㎜
OS
Windows XP
軟件
●定性功能 自動(dòng)定性、多點(diǎn)分析、匹配
●定量功能 FPM定量(不標(biāo)準(zhǔn)、1點(diǎn)校正) 標(biāo)準(zhǔn)曲線定量
●映像分析　指定來自透射像¿熒光像的同時(shí)映像、虛假顏色、圖像RGB合成、圖像線分析、圖像間運(yùn)算、相分析(可選項(xiàng))、對(duì)比度調(diào)整、透射像、熒光像、光學(xué)像的分析位置
●輸出 CRT顯示、打印機(jī)輸出、文件輸出、位圖輸出(可選項(xiàng))、印刷版面設(shè)計(jì)(可選項(xiàng))
電源
AC100 V、50/60 Hz、1.3 kVA以下
裝置質(zhì)量
280㎏
外形尺寸
2110(W)×1000(D)×1350(H) ㎜


周邊機(jī)器
●真空泵●彩色打印機(jī)

●MO驅(qū)動(dòng)(可選項(xiàng))●CD-RW驅(qū)動(dòng)(可選項(xiàng))

●15英寸液晶監(jiān)視器(可選項(xiàng))●透射光照明系統(tǒng)(可選項(xiàng))

※1 未帶透射X射線檢測(cè)器時(shí)，映像時(shí)也能顯示透射X射線的窗口。
※2 將全體光學(xué)像觀察系統(tǒng)添加到可選項(xiàng)中(×100)。



外形尺寸圖 (單位：㎜)



X線分析顕微鏡
XGT-5000系列
10µm的革命　Innovation of 10µm
你能發(fā)揮該裝置的真正實(shí)力。



通過一臺(tái)進(jìn)行各種分析的可能性。


10µm的X射束¿¿¿對(duì)好新分析的焦距。
微細(xì)10µm
通過新開發(fā)比以往的X射線集光效率高的10µmX射線導(dǎo)管，實(shí)現(xiàn)了10µmX射束強(qiáng)度的提高。得到比以往最多大50倍的高速測(cè)定，使其實(shí)用性得到飛躍性的提高。

簡(jiǎn)單正確定位
CCD上的觀察像采用與X射束同軸的機(jī)構(gòu)。這樣即使是對(duì)凹凸不平的試樣，其分析位置也不偏移，使觀察作業(yè)和分析結(jié)果完全融合。具有良好操作性，從而綜合了正確的數(shù)據(jù)。



從微觀到宏觀
可以測(cè)定的試樣部位最小為φ10µm，最大為□10㎝，對(duì)應(yīng)大范圍的尺寸。可靈活對(duì)應(yīng)從概覽大范圍的宏觀分析到微觀的特定部檢查。



大氣中的即時(shí)分析
采用將分析探針內(nèi)部做成真空的構(gòu)造，提高輕元素的靈敏度。結(jié)果，可以在大氣中測(cè)定試樣，不需要等待將試樣室抽成真空，也不需要進(jìn)行試樣干燥處理等預(yù)處理。



熒光X射線元素分析
使用熒光X射線進(jìn)行高速的元素分析。除了試樣的定性¿定量分析，還能簡(jiǎn)單地進(jìn)行多點(diǎn)分析、線分析和面分析，也可以通過相分析進(jìn)行材質(zhì)解析。



垂直透射分析
可獲得透射X射線像，可簡(jiǎn)單地進(jìn)行電子部件等的內(nèi)部觀察和構(gòu)造解析。使用無擴(kuò)散的、微細(xì)的垂直束進(jìn)行掃描，例如對(duì)于圓筒形狀的部件，可獲得它鮮明的透射像。



內(nèi)部/夾雜物分析
X射線照射可以進(jìn)入試樣內(nèi)部，此外還有透射像，則可以獲得內(nèi)部的元素信息。



含水試樣分析
通過使用獨(dú)有的真空探針，不需要預(yù)處理就可以進(jìn)行大氣分析，也能夠測(cè)定含有水分的植物和動(dòng)物等生命體。試樣無損傷，也可以用于醫(yī)學(xué)、生物等領(lǐng)域。


X射線分析顯微鏡
XGT-5000系列



觀察后立即分析。觀察到的“簡(jiǎn)單定位”。


XGT的巨大魅力在于從光學(xué)圖像得到元素分析完美的高度操作性。簡(jiǎn)單地點(diǎn)擊三下就可以完成從試樣整體像到指定要測(cè)定的10µm的點(diǎn)操作。從試樣的設(shè)置到報(bào)告書的制作，均可以進(jìn)行自然操作。

STEP1　 簡(jiǎn)單樣品設(shè)置
●在大氣中設(shè)置。不需要預(yù)處理，可以立即進(jìn)行分析。
●不需要等待抽成真空。
●便于對(duì)多個(gè)試樣進(jìn)行連續(xù)分析。
設(shè)置到試樣臺(tái)上。
將試樣設(shè)置到試樣臺(tái)上。在這種情況下，不需要對(duì)試樣進(jìn)行導(dǎo)電處理和干燥處理等。測(cè)定位置的指定也在設(shè)置到裝置上后在顯示器上進(jìn)行，所以不需要特地對(duì)這個(gè)時(shí)點(diǎn)進(jìn)行定位。



設(shè)置到裝置上。不需要抽成真空。
設(shè)置到裝置上。這時(shí)，由于不需要抽成真空裝置等預(yù)處理作業(yè)，所以在設(shè)置后可以立即進(jìn)入指定測(cè)定位置作業(yè)。



在大氣中分析試樣。
由于試樣室是大氣，所以可以對(duì)不必抽成真空的試樣(含水試樣和生命體試樣)不進(jìn)行預(yù)處理就可進(jìn)行分析。


STEP2　 快速的擴(kuò)大定位
●從全體觀察到10µm分析，只需要點(diǎn)擊三下。
●由于CCD和X射線處于同軸，所以對(duì)準(zhǔn)位置簡(jiǎn)單精確。
●由于觀察像和分析點(diǎn)一致，所以效率得到飛躍性提高。
全體圖像中一下子就能指定目的點(diǎn)。 只需要點(diǎn)擊三下就可從全體圖像中指定位置。 從顯示器上顯示試樣的全體圖像到指定進(jìn)行10µm高精度分析的位置只需要點(diǎn)擊三下。



點(diǎn)擊光學(xué)像移動(dòng)試樣臺(tái)。 當(dāng)要修正測(cè)定位置的微妙偏差時(shí)，只需要用鼠標(biāo)點(diǎn)擊光學(xué)圖像，則試樣臺(tái)連動(dòng)一起移動(dòng)。不需要對(duì)其進(jìn)行任何復(fù)雜操作。

　　
　　　　　　 移動(dòng)前 　　　　　　　　　　　　 移動(dòng)后



STEP3　多種多樣的分析方法
多點(diǎn)分析和線分析等，分析位置指定多種多樣。 通過相分析可進(jìn)行材質(zhì)解析。 還具備特定試樣材質(zhì)的匹配功能。 映像開始畫面 　映像時(shí)可以一邊觀察顯示器，一邊指定區(qū)域。


多點(diǎn)分析
如果用點(diǎn)指定多個(gè)位置，則能自動(dòng)收集這些位置的光譜。

　　

線分析 　可對(duì)斷面分析等進(jìn)行有效的線分析。



相分析(可選項(xiàng))
可選項(xiàng)中備有“相分析”功能，可從多個(gè)元素映象中分析出“相”并加以顯示。我們建議需要材質(zhì)解析的用戶采用此類分析。

　　

匹配功能
從過去的數(shù)據(jù)中檢索類似分析結(jié)果的光譜，根據(jù)類似程度排列顯示。如果事先保存了夾雜物的數(shù)據(jù)，就能迅速判明種類。





STEP4　易懂的輸出結(jié)果
輸出多種多樣，有光學(xué)像、映像、光譜像等。 得到的數(shù)據(jù)可自由布局并加以輸出。 對(duì)布局格式進(jìn)行保存管理。 數(shù)據(jù)可自由布局。 分析結(jié)果是光學(xué)圖像¿光譜¿映像等均可進(jìn)行自由布局，還能夠與文本文檔一起打印輸出。



能夠保存布局的格式。
設(shè)定的布局可以保存成格式。制作同種報(bào)告書時(shí)，可以不用調(diào)出格式進(jìn)行布局作業(yè)而直接輸出。



測(cè)定結(jié)果報(bào)告例
由于可以將光學(xué)像和熒光X射線像、透射X射線像歸納成一個(gè)文件加以保存，所以便于迅速制作報(bào)告書。