CS-131 適合于使用單槽或多槽方式的清洗裝置
外形小巧、響應(yīng)快速的SC-1溶液濃度計
概要
CS-131是半導體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測儀，實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢猿r間的監(jiān)測微粒以及有機物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監(jiān)測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。

特點
監(jiān)測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在最低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。
SC-1濃度計
CS-131


技術(shù)規(guī)格 型號和規(guī)格 CS-131：無冷卻器
CS-131C：冷卻器一體型 監(jiān)測對象 SC-1(氨/過氧化氫水溶液) 測量原理 吸收光譜測定法 濃度計算的原理 溫度補償型多變量解析法 監(jiān)測范圍
氨：0.00¿1.00% / 0.00¿3.00% / 0.00¿5.00%
過氧化氫：0.00¿5.00% / 0.00¿7.00% / 0.00¿10.00%
水：94.0¿ 100% / 90.0¿ 100% / 85.0¿100% 再現(xiàn)性 氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
過氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水　　　?。?±1.5% / ±1.5% / ±1.5% 藥液條件 溫度 CS-131：20¿30℃
CS-131C：20¿80℃ 藥液條件 流量 CS-131：20¿60mL/min
CS-131C：20¿40mL/min 藥液條件 壓力 0.10¿0.20MPa 監(jiān)測周期 最小約2秒(不包含藥液的置換時間¿冷卻時間) 設(shè)置溫度 20¿25℃ 操作面板 1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水
2)報警信號的顯示(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限
3)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限 串行輸入 RS-232C
1)濃度數(shù)據(jù)：氨、過氧化氫、水
2)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 并行輸入 DC12¿30V(光電耦合器絕緣)
并行溫度報警(有效/無效) 并行輸出 開路集電極輸出為ON 時的最大電流：5mA、為OFF時的最大電壓：30V
1)報警信號輸出(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)裝置異常
3)漏液 模擬輸出 4¿20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)
＊與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無關(guān)，可以使4¿20mA輸出對應(yīng)于0¿10%濃度。(請在訂貨時指定) 電源 DC24V±10%， 2A 外形尺寸 CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm
CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm 質(zhì)量 CS-131：約11kg
CS-131C：約12kg 連接配管尺寸 導入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm) 配管接頭 Nippon Pillar Super型
有關(guān)上述以外的規(guī)格，請另行咨詢協(xié)商。

外觀圖(單位：mm)





設(shè)置例