( 制造單位:HORIBA STEC有限公司)
概要
如果質(zhì)量流量控制器中產(chǎn)生了不良現(xiàn)象時,為了找出原因,必須要發(fā)現(xiàn)構(gòu)成MFC系統(tǒng)的SEC¿電源¿顯示器¿設(shè)定器¿電纜等異常以及SEC自身的不良原因。通過MFT-20可以對驅(qū)動SEC、輸入輸出的電壓進(jìn)行監(jiān)測,或者通過MFT-20的控制,檢查SEC是否正常。因此,在從裝置配管上卸下SEC之前,可以迅速地確認(rèn)SEC的故障以及電源等的故障。并且,通過內(nèi)置在主體中的電位差計也可以控制SEC。
不必卸下配管,可以簡便地進(jìn)行檢測。 不需要電源(使用原有的信號電纜的電源) 可以閥門全開/全關(guān)閉 可以使用自動清零功能(僅裝備了自動清零功能的SEC)
使用方法
電纜¿適配器 型號 適用型號 CA-H SEC-4400/7300/8000/E 系列 CA-4 SEC-400 系列質(zhì)量流量檢驗器 MFT-20
(制造單位:HORIBA STEC有限公司)
技術(shù)規(guī)格 顯示 DC20V滿量程/LCD顯示 內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)電壓 +5 VDC 電源電壓 +7¿+30VDC(通常利用+15V 的MFC用電壓) 消耗電流 在上述電壓范圍為6mA以下 重量 400 g 使用溫度范圍 0¿50℃
1. 外部輸出端子 2. 報警顯示LED 3. 轉(zhuǎn)接電纜連接適配器 4. 電壓顯示用LCD 5. 核對點切換開關(guān) 6. 流量設(shè)定器 7. INPUT切換開關(guān) 8. 閥門控制切換開關(guān) 9. SEC選擇開關(guān) 10. 自動清零開關(guān) 11. 固定用磁體
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