在線氣體濃度計(jì) IR-150
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)

概要
在線氣體監(jiān)測儀 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型紅外吸收法)的半導(dǎo)體氣體濃度監(jiān)測儀。
它可以在線檢測用于化合物半導(dǎo)體制造工藝的液體材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固體以及液體材料中發(fā)生氣化的氣體濃度。

特點(diǎn)
最適于MOCVD用液體,固體材料氣體的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了與MFC相等的操作通用性和價(jià)格統(tǒng)一性。

在線實(shí)時(shí)檢測濃度。
配備有安全探測安全系統(tǒng)(SDSS)，支持將來的300mm全自動(dòng)晶圓生產(chǎn)。
系統(tǒng)中包括濃度、壓力的報(bào)警，和報(bào)警輸出。
小巧、可隨意安裝設(shè)置，不需要選擇空間
具備超群的性價(jià)比，最適于生產(chǎn)線中的濃度管理。
規(guī)格 型號
IR-150
對象氣體
TMAl, TMGa, TMIn,DEZn
校正氣體
C3H8
測量濃度
7%/1%
測量方式
紅外線分析法(NDIR法)
檢測單元長度
5mm/50mm
再現(xiàn)性
±2%FS
響應(yīng)性
40sec(T90) Typical 20sec






外形尺寸圖　(mm)





使用環(huán)境¿用途¿優(yōu)點(diǎn)

最適于MOCVD用液體¿固體材料生產(chǎn)線的濃度管理，實(shí)現(xiàn)了與 MFC同等的操作通用性和價(jià)格。


使用環(huán)境
GaAｓ設(shè)備以面向手機(jī)方面的需求為主，其市場不斷擴(kuò)大，預(yù)計(jì)在衛(wèi)星廣播、衛(wèi)星通信氣體、地面基站間通信系統(tǒng)、高速網(wǎng)絡(luò)、以及毫米波帶中的用途今后還會(huì)進(jìn)一步增加。
光設(shè)備的CD/MD、CD-ROM、DVD運(yùn)用半導(dǎo)體激光等需求也正在急速擴(kuò)大。在化合物半導(dǎo)體元件制造中，一般是MOCVD以及MBE的外延成長。

用途



在MOCVD以及MOVPE等中，在氣缸內(nèi)對TMAI、TMGa、TMIn、DEZn等固體和液體材料進(jìn)行加溫氣化，供應(yīng)給Use-Point。
在氣缸內(nèi)被加溫的材料氣體有可能因?yàn)闅飧椎臏囟群蛪毫?、以及材料的余量不同而出現(xiàn)濃度變化。
膜厚變動(dòng)會(huì)給元件特性帶來很大影響，為了盡可能減少這種影響，材料濃度的穩(wěn)定也是其中重要的因素，這就需要對濃度進(jìn)行監(jiān)測。

在線氣體監(jiān)測的必要性
在半導(dǎo)體制造工藝中液體材料的増加
↓
通過液體材料氣體的載氣流量控制直接氣化供應(yīng)，在發(fā)泡供應(yīng)中，由于蒸氣壓力變化，供應(yīng)濃度將會(huì)發(fā)生變化。
↓
產(chǎn)生氣體實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測的必要性
濃度回饋控制的愿望

優(yōu)點(diǎn)

通過In-situ可以實(shí)時(shí)進(jìn)行濃度檢測。
小巧、可隨意安裝，不必選擇設(shè)置空間。
具有超群的性價(jià)比，最適于生產(chǎn)線中的濃度管理。