液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器 LF-F/LV-F 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
概要 通過采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度¿高速響應(yīng)。 可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。 可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。 超潔凈類型
液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器
LF-F/LV-F 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司.)



技術(shù)規(guī)格
名稱 質(zhì)量流量計(jì) 型號 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全標(biāo)度流量(g/min) 0.02/0.05/0.1 0.2/0.5 1/2/5 10/20 50/100 檢測控制范圍 5¿100% F.S. 對象液體種類 *1 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 液體粘度 *2 最大值. 0.1 Pa·s (100cp) 精度 *3 ±1% F.S. 直線性 *3 ±0.5% F.S. 重復(fù)性 *3 ±0.5% F.S. 響應(yīng)精度 3秒以內(nèi) (T98) 2秒以內(nèi) (T98) 使用環(huán)境溫度 *4 5¿50℃ (15 ¿ 45℃精度的確保) 溫度影響 Span ±0.1%F.S./℃　最大值±1% 工作差壓值值 *5 最大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50¿300kPa (with piezo 控制閥) 耐壓 10MPa (視為流量計(jì)) 壓力損失 最大值. 500Pa 流量設(shè)定信號 模擬：0.25¿5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) 流量輸出信號 模擬：0¿5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) 驅(qū)動電源 +15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA 外部泄漏規(guī)格 5×10-12Pa·m3/s (He) 接液部材質(zhì) SUS316L, Ni 標(biāo)準(zhǔn)接頭 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型



名稱 質(zhì)量流量控制器 型號 LV-F20 (PO/MO) LV-F30 (PO/MO) LV-F40 (PO/MO) LV-F50 (PO/MO) LV-F60 (PO/MO) 全標(biāo)度流量(g/min) 0.02/0.05/0.1 0.2/0.5 1/2/5 10/20 50/100 檢測控制范圍 5¿100% F.S. 對象液體種類 *1 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 液體粘度 *2 最大值. 0.01 Pa·s (10cp) 精度 *3 ±1% F.S. 直線性 *3 ±0.5% F.S. 重復(fù)性 *3 ±0.5% F.S. 響應(yīng)精度 3秒以內(nèi) (T98) 2秒以內(nèi) (T98) 使用環(huán)境溫度 *4 5¿50℃ (15 ¿ 45℃精度的確保) 溫度影響Span ±0.1%F.S./℃　最大值±1% 工作差壓值 *5 0.05¿0.3MPa 耐壓 1MPa 壓力損失 ー 流量設(shè)定信號 模擬：0.25¿5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) 流量輸出信號 模擬：0¿5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) 驅(qū)動電源 +15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA 外部泄漏規(guī)格 PO 類型：1×10-8Pa¿m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa¿m3/s (He) 接液部材質(zhì) PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類型： SUS316L，Ni 標(biāo)準(zhǔn)接頭 1/16” 液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器 LF-F/LV-F 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)

外形尺寸（單位：mm）
LF-F series


模式 H T W I (1/4 VCR) I
(1/4 SWL) I
(1/8 VCR) I
(1/8SWL) I
(1/16SWL) I
(1/16 Special) A B C D E LF-F20M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F30M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F40M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F50M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17 LF-F60M-A 112 30 55 106 105 94 99 87 89 5 65 5 20 17
LV-F series


模式 H T W I
(1/4 VCR)
I
(1/4 SWL)
I
(1/8 VCR)
I
(1/8 SWL)
I
(1/16 SWL)
I
(1/16 Special)
A B C D E LV-F20 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F30 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F40 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F50 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17 LV-F60 (PO/MO) 112 30 86 137 136 125 130 118 120 5 96 5 20 17
， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型

1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類