光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1系列
在線多樣監(jiān)測(cè)！！
適用于使用批次式、單槽、單晶圓各方式的清洗裝置。
概要
HORIBA藥液濃度計(jì)CS-100F1系列是針對(duì)在半導(dǎo)體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進(jìn)行高精度濃度監(jiān)測(cè)的設(shè)備。
它通過(guò)利用光纖傳播光信號(hào)，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線測(cè)量。 同時(shí)，1臺(tái)單一的濃度計(jì)最多可以測(cè)量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統(tǒng)中進(jìn)行單線監(jiān)測(cè)成為了可能。此外，測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。

特點(diǎn)
●利用1臺(tái)濃度計(jì)最大可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。

●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。

●監(jiān)測(cè)周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。

●通過(guò)完全分離電氣部分和測(cè)量部分以提高穩(wěn)定性。

●輕便小巧的設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間。

●通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量

光纖式藥液濃度計(jì)
CS-100F1系列



規(guī)格
型號(hào) CS-151F1 CS-152F1 CS-150F1 測(cè)量對(duì)象 SC-1
(氨/過(guò)氧化氫水溶液) SC-2
(鹽酸/過(guò)氧化氫水溶液) SPM
(硫酸/過(guò)氧化氫水溶液) 1臺(tái)最多可進(jìn)行4種藥液或量程測(cè)量的多樣監(jiān)測(cè)。 測(cè)量原理 吸收光譜測(cè)定法 濃度計(jì)算原理 溫度補(bǔ)償型多變量解析法 量程 NH3：0.00%¿1.00%
H2O2：0.00%¿5.00%
H2O：94.0%¿100.0% HCl：0.00%¿2.00%
H2O2：0.00%¿2.00%
H2O：96.0%¿100.0% H2SO4：70.0%¿96.0%
H2O2：0.00%¿10.00%
H2O：4.0%¿30.0% 再現(xiàn)性精度(質(zhì)量%) (室溫變化±1℃以內(nèi)) NH3：±0.15%
H2O2：±0.30%
H2O：±1.5% HCI：±0.15%
H2O2：±0.15 %
H2O：±1.5% H2SO4：±0.50%
H2O2：±0.50%
H2O：±1.5% 樣品溫度 20¿80℃(使用在線檢測(cè)單元)
20¿30℃(使用檢測(cè)單元裝置) 測(cè)量周期 約3秒 LCD顯示以及輸入內(nèi)容 ¿第一成分 濃度測(cè)量值(%)
¿第二成分 濃度測(cè)量值(%)
¿第三成分 濃度測(cè)量值(%)
¿第一和第二成分； 濃度報(bào)警狀態(tài) ¿錯(cuò)誤代碼
¿并行濃度報(bào)警輸出無(wú)效狀態(tài)
¿串行/并行狀態(tài)
¿背底補(bǔ)償信息 串行輸入
RS-232C ¿串行/并行狀態(tài)轉(zhuǎn)換
¿檢測(cè)數(shù)據(jù)傳送要求
¿第一、二成分濃度警報(bào)值的設(shè)定 ¿并行濃度警報(bào)輸出狀態(tài)(有效/無(wú)效)
¿檢測(cè)對(duì)象藥液轉(zhuǎn)換 并行輸入 DC12¿30V(光耦合器絕緣) ¿并行濃度報(bào)警輸出
¿測(cè)量對(duì)象藥液轉(zhuǎn)換
¿背景值校正 并行輸出 打開(kāi)控制器輸出(光耦合器絕緣)
ON時(shí)的最大電流：DC5mA(無(wú)內(nèi)部保護(hù)電阻)
OFF時(shí)最大引火電壓：DC30V ¿第一成分濃度報(bào)警4種
¿第二成分濃度報(bào)警4種
¿裝置異常
¿測(cè)量中
¿檢測(cè)對(duì)象藥液種類
¿背景值校正狀態(tài) 藥液溫度輸入 接頭排連接(接線柱螺絲M3)
¿白金測(cè)溫電阻傳感器：Pt100(請(qǐng)客戶自己準(zhǔn)備Pt傳感器。) 模擬輸出 ¿第一成分濃度報(bào)警4種：4¿20mA
¿第二成分濃度報(bào)警4種：4¿20mA
※也適用于其它量程。訂貨時(shí)請(qǐng)指定。 光纖 CS-100F1系列專用光纖(安裝溫度25±15℃) 樣品檢測(cè)單元 可適用于各種藥液的專用樣品檢測(cè)單元(在線檢測(cè)單元、檢測(cè)單元裝置)。 電源 AC 100V¿230V(單相)±10%、50/60Hz、約100VA 外形尺寸 205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部除外) 重量 大約11kg







外形尺寸圖(單位：mm)


濃度計(jì)


在線檢測(cè)單元


檢測(cè)單元裝置


光纖式藥液濃度計(jì)
CS-100F1系列



主要特點(diǎn)


●利用1臺(tái)濃度計(jì)最大可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。
1臺(tái)濃度計(jì)中最多可存儲(chǔ)4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測(cè)單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。

●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過(guò)使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測(cè)單元，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的濃度監(jiān)測(cè)。為了強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測(cè)單元裝置型的濃度計(jì)，以進(jìn)行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內(nèi)，同時(shí)也可以避免不必要的藥液更換工作。

●監(jiān)測(cè)周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
以大約3秒這樣短的測(cè)量周期實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性。支持多槽、單槽¿單晶圓方式清洗裝置的精確濃度管理。

●通過(guò)完全分離電氣部分和測(cè)量部分以提高穩(wěn)定性。
使用光纖傳輸光源信號(hào)確保了了濃度計(jì)和檢測(cè)單元的完全分離。由于可以把濃度計(jì)設(shè)置在藥液氣體以外，所以不需要擔(dān)心腐蝕等現(xiàn)象。

●輕便小巧的設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
由于底面面積只有本公司原來(lái)產(chǎn)品的2/3左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。除此以外，由于重量較輕，所以也可以設(shè)置在清洗裝置的上面。

●通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
通過(guò)使用監(jiān)測(cè)輸出，進(jìn)行各成分藥液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)了高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高提高產(chǎn)量。

在線在線檢測(cè)單元型 檢測(cè)單元裝置型 通過(guò)使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測(cè)單元，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的濃度監(jiān)測(cè)。
為了強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測(cè)單元裝置型的濃度計(jì)，以進(jìn)行反饋控制?？梢员３衷谒幰簼舛戎档脑试S范圍內(nèi)，同時(shí)也可以避免不必要的藥液更換工作。
光纖式藥液濃度計(jì) CS-100F1系列

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品
樣品測(cè)量單元內(nèi)置型的濃度計(jì)

支持各種藥液監(jiān)測(cè)的、樣品測(cè)量單元內(nèi)置型的藥液濃度計(jì)。由于清洗裝置和濃度計(jì)相互分離，容易脫卸，所以也適用于滯后安裝。由于裝置內(nèi)有藥液，所以使用具備安全性的DC 24V電源。

CS-100系列
SC-1濃度計(jì)/CS-131 SC-2濃度計(jì)/CS-152 SPM濃度計(jì)/CS-150 BHF濃度計(jì)/CS-137
關(guān)于上述以外的藥液種類濃度計(jì)，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。

氫酸濃度監(jiān)測(cè)計(jì)
CM-200/210
可以很容易組裝到裝置中的DIN96尺寸大小的高精度氫氟酸濃度計(jì)。從低濃度到高濃度、實(shí)現(xiàn)了寬廣領(lǐng)域中的高再現(xiàn)性，可以實(shí)時(shí)顯示氫氟酸濃度。我們根據(jù)用途，準(zhǔn)備了流通型和沉浸型傳感器。