FTIR氣體分析儀 FG-100A系列
進一步擴大分析用途
在尺寸大小上為小巧型設計。
單檢測池和雙檢測池最新上市。
概要
FG-100A系列產品是可以對防止地球溫暖化而需要削減的溫室效應氣體、PFCs等各種半導體¿FPD工藝用氣體類進行各種分析的FTIR氣體分析儀。

該裝置力求在現場中完成高效的氣體檢測、實現大幅小巧化的同時，還備有單檢測池類型和雙檢測池類型兩個種類。不僅向檢測點的設置¿移動非常簡便，而且分析用途也多種多樣。

包括最適用于半導體¿FPD工藝氣體分析的軟件、豐富的程序庫以及可移動的采樣單元裝置在內，把它們作為一個總系統(tǒng)向您推薦。

長達50年之久HORIBA的有關環(huán)境氣體分析的技術和經驗支持著半導體¿FPD工藝的氣體監(jiān)測。

FTIR氣體分析儀
FG-100A系列



技術規(guī)格
基本型號名稱 FG-110A FG-120A 檢測原理 FTIR法 檢測器 液體氮冷卻式MCT 電子冷卻式MCT 檢測波數范圍 標準 ： 5000¿700cm-1
可選項 ： 5000¿600cm-1 標準 ： 5000¿900cm-1 檢測池光路長
(檢測池容積) 單檢測池 ： 0.01m(6.2mL)、0.1m(62mL)、0.8m(220mL)、
2.4m(220mL)、10m(1800mL)
雙檢測池 ： 0.01m＋2.4m、0.01m＋0.8m、0.1m＋2.4m 檢測池窗材質 標準 ： BaF2　可選項 ： ZnSe O型密封圈材質 標準 ： 氟化橡膠　可選項 ： Kalrez 配管的連接 標準 ： 1/4英寸 卡套管接口　可選項 ： 1/4英寸VCR 波數分解能 0.5、1、2、4、8、16(cm-1) 檢測周期 大約0.6秒(因檢測條件不同而有所差異。) 使用溫度范圍 10¿30℃ 使用濕度範囲 70％Rh以下 電源 AC100±10V 50/60Hz(國外技術規(guī)格另行準備) 消費電力 240VA(2.4m檢測池) 250VA(2.4m檢測池) 氮氣 分析儀清潔用 ： 常時 5L/min左右
校正用 ： 必要時 5L/min左右
氮氣條件 ： 純度 99.99％以上、水分 -30℃飽和以下、不能有粉塵¿煙霧 液體氮 500¿600mL
(保持時間8¿10個小時) - 重量 單檢測池類型 ： 40kg(2.4m檢測池)
雙檢測池類型 ： 50kg 適用規(guī)格 CE標記、FCC第十五款(A類)









外形寸法圖(單位：mm)


單檢測池類型


雙檢測池類型


采樣單元裝置


FTIR氣體分析儀
FG-100A系列



控制單元裝置



控制單元裝置　FGC-10可實現潔凈室內的環(huán)境氣體監(jiān)測


能夠適用于次ppm級低濃度氣體的FG-100A系列氣體分析儀和具有濃度顯示功能以及輸出功能的控制裝置進行組合，可以不必使用電腦就能進行潔凈室內的連續(xù)高靈敏度監(jiān)測。通過采樣線的切換進行多點監(jiān)測等，可以為您提供建議從而組建各種各樣的系統(tǒng)。利用FG-100A系列氣體分析儀進行連續(xù)高靈敏度監(jiān)測，可以為半導體¿FPD產業(yè)中的EHS(環(huán)境¿健康¿安全)做出貢獻。

■控制單元裝置　(FGC-10)技術規(guī)格 用　途 連續(xù)監(jiān)測 顯示內容 成分名稱、指示值、濃度報警等 顯示成分數 5成分/1畫面
(檢測成分數量最大可達到20種成分) 外部輸入輸出 模擬輸入輸出(0-1Ｖ)、
數字輸入輸出 大小 W450×Ｄ300×Ｈ230mm 電　源 ＡＣ100-240Ｖ　50/60Ｈｚ 消耗電力 80ＶＡ※ 有關詳情請進行咨詢。
外形尺寸圖(單位：mm)


FG-100A系列



專用采樣單元裝置用意。


我們?yōu)槟鷾蕚淞俗钸m于半導體¿FPD工藝的專用采樣單元裝置?？梢院苋菀椎貙霕託狻榱伺cFG-100A系列的系統(tǒng)作用，我們采用了便于進行設置¿移動的帶小腳輪的節(jié)省空間設計方式。

采樣單元裝置(可選項)和FG-100A系列氣體分析儀的組合例


用途例

可以應用于廣泛的領域。
用于CVD工藝(反應室清潔等)以及干蝕刻工藝的最佳化 用于PFC處理(回收、分解)裝置的研究開發(fā) 用于確認除害裝置的性能 用于氣體生產工藝中的質量管理 用于替代PFC氣體的開發(fā) 用于潔凈室內環(huán)境氣體的監(jiān)測 用于MOCVD用液體¿固體材料氣體的濃度監(jiān)測 用于CVD材料的熱分解特性的評估

單檢測池類型


雙檢測池類型
用途例

可以應用于廣泛的領域。

流程圖(單檢測池類型)


※ 我們還采用了干擾儀的N2凈化技術規(guī)格。





用于CVD工藝(反應室清潔等)以及干蝕刻工藝的最佳化 用于PFC處理(回收、分解)裝置的研究開發(fā) 用于確認除害裝置的性能 用于氣體生產工藝中的質量管理 用于替代PFC氣體的開發(fā) 用于潔凈室內環(huán)境氣體的監(jiān)測 用于MOCVD用液體¿固體材料氣體的濃度監(jiān)測 用于CVD材料的熱分解特性的評估

單檢測池類型


雙檢測池類型
檢測例

■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更換前后的氣體光譜


■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更換前后的氣體濃度監(jiān)測



■CVD反應室清潔凈化用排放氣體分析


可在CVD反應室的廢氣氣線(減壓下)中進行采樣。利用氣體濃度的監(jiān)測，可以判定反應室清潔凈化的界點。通過清潔凈化條件的最佳化，可以取得提高生產效力以及降低氣體使用量等效果。


■干蝕刻廢氣檢測(C2F6)



■除害裝置(等離子式)廢氣檢測