BHF濃度計 CS-137

概要
CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計專為半導(dǎo)體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。
特點
¿監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。
實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

¿小巧設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間
底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

¿通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行BHF溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

¿全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，也可以測量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。

¿通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在最低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

¿采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷BHF溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。 BHF濃度計
CS-137


技術(shù)規(guī)格 型號 CS-137-2503 CS-137-1003 監(jiān)測對象 BHF(氫酸/氟化銨溶液) 測量原理 吸收分光譜測定法 濃度計算的原理 溫度補償型多變量解析法 量程 氟化銨：15.0¿25.0%
氫氟酸：0.00¿3.00%
水：72.0¿85.0% 氟化銨：0.0¿10.0%
氫氟酸：0.00¿3.00%
水：87.0¿100.0% 再現(xiàn)性 氟化銨：±0.3%
氫氟酸：±0.25%
水：±1.0% 氟化銨：±0.3%
氫氟酸：±0.25%
水：±1.0% 藥液條件 溫度 20¿30℃ 流量 20¿60mL/min 壓力 0.10¿0.20MPa 檢測周期 最小約3秒 設(shè)置溫度 20¿30℃ 操作面板 1)溫度檢測值的顯示：氟化銨、氫氟酸、水
2)報警信號的顯示(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
3)報警信號值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 串行輸入 RS-232C
1)濃度數(shù)據(jù)：氟化銨、氫氟酸、水
2)報警信號值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 并行輸入 DC12¿30V(光耦合器絕緣)
并行濃度報警(有效/無效) 并行輸出 開路集電極輸出為ON時最大電流：5mA；為OFF時的最大電壓：30V
1)報警信號的輸出(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)裝置異常(包括漏液在內(nèi))
3)檢測中 模擬輸出 4¿20mA(2輸出：NH4F濃度、HF濃度) 電源 DC24V±10%， 2A 外形尺寸 205(W)×329(D)×269(H)mm 質(zhì)量 約11kg 連接配管尺寸 導(dǎo)入用、排出用：外徑為6mm(內(nèi)徑為4mm) 配管接頭 Nippon Pillar Super型
有關(guān)上述以外的量程，請另行咨詢協(xié)商。

設(shè)置例





外觀圖