低濃度氫氟酸濃度計 HF-96
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)

概要
用于半導體清洗工藝的氫氟酸濃度隨著設備的設計規(guī)則的細微化需要進一步對低濃度進行控制。HF-96采用優(yōu)良耐蝕性的玻璃碳，可以高精度且穩(wěn)定地監(jiān)測低濃度的氫氟酸。
特點
可以測量0.5%或更低的HF濃度
HF：1ppm分辨率(＝0.0001%分辨率)
采用具有良好耐蝕性的玻璃碳做為電極材料
2ch傳送信號輸出 　可選擇并顯示氫氟酸濃度/鹽酸濃度/導電率/溫度中2的兩項 4點報警接點
DIN96的小巧尺寸
適合規(guī)格：CE標記、FCC
低濃度氫氟酸濃度計
HF-96
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)


規(guī)格 型號
HF-96
測量方式
電導率/濃度換算法
測量范圍
HF濃度：0¿5000ppm
顯示：max9999ppm HCl
濃度：0¿5000ppm 導
電率：0¿50mS/cm
溫度：0¿100℃
樣品條件
HF：5¿40℃ 壓力：0¿0.5MPa
測量項目
1個
再現(xiàn)性
±0.5%F,S,
傳送輸出
輸出項目：2　可在HF濃度、HCl濃度、電導率、和溫度之間進行選擇 4¿20mA直流電　隔離輸入輸出型
最大負荷電阻600Ω
控制輸出
C接點輸出：2點
a接點輸出：2點
電容量：DC24V、1Amax(電阻負荷)
校正功能
電導率：輸入單位常補正系數(shù)(參數(shù)輸入)
溫度：1點溫度校正(與參考溫度計的比較校正)
HF濃度／HCl濃度：輸入已知濃度
附加功能
校正中接點／傳送輸出 　
連續(xù)¿最近前值保持(通過功能設定開關進行選擇切換)
各種錯誤信息 　
(1)傳感器診斷錯誤(溫度傳感器短路¿斷線) 　
(2)測量范圍外錯誤(高于或低于測量范圍) 　
(3)系統(tǒng)錯誤(A/D變頻器錯誤、存儲器錯誤)
參考溫度
25℃
溫度補償
HF濃度／HCl濃度：固有溫度系數(shù)
電導率：(1)0¿5%/℃(可以任意設定) 　　　　
(2)NaCl溶液特性補償 　　　　
(3)沒有溫度補償
溫度補償范圍
5¿40℃
溫度補償元件
Pt1000Ω(0℃)
周圍溫度/濕度
-5¿40℃　85%RH或更低
電源
DC24V　7W
構造
面板固定　室內安裝型　　外盒：SUS　面板：ABS
外形尺寸
轉換器：96(W)×96(H)×145(D)mm　外盒深度：135mm 檢測器：75(W)×38(H)×54(D)mm　不包括突起部分
質量
轉換器：約650g 檢測器：約300g
檢測器
連接：PFA3/4英寸管或者PFA1/4英寸管(以訂貨時的指定為準) 接液部材料：PFA、玻璃碳、Kalrez
專用電纜線：轉換器間距離5m
適合規(guī)格
CE標記、FCC