便攜式DO監(jiān)測(cè)儀 SD-300
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
便攜式高靈敏度 使用方便，性能高效
概要
對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)用超純水中的DO進(jìn)行高精度測(cè)量和監(jiān)測(cè)
由于半導(dǎo)體集成程度不斷增加，這就要求提高用于晶片清洗作業(yè)中的超純水水質(zhì)。超純水中所含有的微量DO (溶解氧)會(huì)氧化晶片表面，因此為保證超純水的高質(zhì)量，必須嚴(yán)格控制DO含量。HORIBA的SD-300正是其解決方案。利用HORIBA的半導(dǎo)體技術(shù)，其可提供高效的純水管理。SD-300 DO監(jiān)測(cè)儀輕便且可攜帶。，適合高精度地測(cè)量半導(dǎo)體工業(yè)用超純水中的DO含量。

特點(diǎn)
●便攜式設(shè)計(jì)便于在窄小空間操作
小型、便攜式、且使用簡(jiǎn)單。

●高靈敏度的寬量程檢測(cè)
檢測(cè)量程可以從0¿20µg/L、0¿200µg/L、0¿2mg/L、0¿20mg/L這4個(gè)量程中進(jìn)行選擇。自動(dòng)/手動(dòng)量程可以通過(guò)開(kāi)關(guān)進(jìn)行切換。實(shí)現(xiàn)了適合量程中的高靈敏度的測(cè)量。

●高速響應(yīng)性
SD-300 DO監(jiān)測(cè)儀具有高速的響應(yīng)速度(90%在30秒之內(nèi))。

●采用平板設(shè)計(jì)，適合于在潔凈室內(nèi)使用
為了便于操作，采用了平板設(shè)計(jì)的前面板。
灰塵不會(huì)在開(kāi)關(guān)等間隙處積存。
最適合于在潔凈室內(nèi)使用。

●耐用的內(nèi)部液體交換傳感器
傳感器是內(nèi)部液體交換類(lèi)型易于更換。非常耐用，有利于降低運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

●標(biāo)準(zhǔn)的模擬/串行輸出
不僅有模擬輸出，還配備了標(biāo)準(zhǔn)的RS-232C輸出方式。因此進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)時(shí)，用于數(shù)據(jù)管理的數(shù)據(jù)可通過(guò)RS-232C進(jìn)行傳送 。


■配管連接例

便攜式DO監(jiān)測(cè)儀
SD-300
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)


規(guī)格 測(cè)量對(duì)象 溶解氧 原理 隔膜型極譜法 測(cè)量量程 0¿20µg/L , 0¿200µg/L , 0¿2mg/L , 0¿20mg/L 響應(yīng)速度 30s/90%(試料水溫度在20℃以上) 反復(fù)性 全刻度的±1% 溫度補(bǔ)償 5¿50℃ 試樣水條件 溫度 2¿50℃ 壓力 0.02¿0.2MPa 流量 0.2¿0.4L/min 外部輸出 模擬輸出 (濃度) DC 4¿20mA 或 DC 0¿16mA 隔離輸出 負(fù)荷 最大500Ω 接點(diǎn)輸出 (警報(bào)) 接點(diǎn)A輸出　　接點(diǎn)電容 DC24V, 0.1A 串行輸出 僅RS-232C輸出 校正方法 零點(diǎn) 電校正或者使用零標(biāo)準(zhǔn)液校正 跨度 空氣校正(將傳感器放在空氣中) 環(huán)境條件 溫度：0¿45℃，濕度：85%以下 電源 85至264 V AC , 50/60Hz 功率 約50VA (于 100 V AC) 外形尺寸 296(W)×110(H)×258(D) mm(僅操作部分) 重量 約3.4kg(僅操作部分) 操作部與傳感器間的延長(zhǎng)線纜長(zhǎng)度 5m(標(biāo)準(zhǔn)), 10m(可選件)





外形尺寸圖

(單位：mm)

操作部


傳感器/流量單元裝置