微型聚焦X射線用測試卡
是確認(rèn)X射線裝置的分辨率的測試卡。
日本檢查機(jī)器工業(yè)會的X射線用分辨率微圖表試驗(yàn)片信息
RT RC-04
采用最新的半導(dǎo)體制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了23種納米級（0.1～10μm）的Line&Space微圖。
RT RC-05B
通過最新的超細(xì)加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了16種微米級（3～50μm）的Line&Space微圖。
RT CT-01B
根據(jù)最新的超微細(xì)加工技術(shù)，采用了金（Au）的吸收體的微米級的微焦點(diǎn)X射線CT裝置的分辨率評價(jià)和調(diào)整等使用的分辨率微圖表。
規(guī)格
| 型式 | RT RC-02B | RT RC-04 | RT RC-05B | RT CT-01B |
|---|---|---|---|---|
| L/S幅 | 0.4～15μm | 0.1～10μm | 3～50μm | 3～7μm |
JIMA RT CT-01B
通過最新的超微加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了采用Au吸收體的5種微米尺寸X射線CT的Line&Space方式測試卡。
這是微光一照X射線CT裝置的分辨率評價(jià)、調(diào)整、條件設(shè)定、維護(hù)管理等必不可少的分辨率卡。
